真空状态下,用加速的离子轰击固体表面,离子和固体表面原子交换动量,使固体表面的原子离开固体并沉积在基底表面形成所需要的薄膜,这一过程称为溅射。被轰击的固体是用溅射法沉积薄膜的原材料,通常称为靶材。我国靶材产业链涉及金属提纯、靶材制造、溅射镀膜等环节,参与主体主要为传统靶材制造厂商以及高纯金属靶材基材生产商。其中,我国高纯金属靶材基材生产商的靶材业务处于研发、小批量生产或实现批量化生产等不同阶段。
2020年,工业和信息化部科技司发布19项涉及稀土相关领域的行业标准报批公示,由北方稀土起草的《镝、铽金属靶材》行业标准位列其中。《镝、铽金属靶材》行业标准规定了镝、铽金属靶材要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及质量证明书等,内容与企业生产需求紧密结合,科技成果易于转化为现实生产力,产业化前景良好。该标准被推广应用后,不仅可以规范我国镝、铽金属靶材生产,促进国内生产企业及相关行业技术进步和产品质量提高,为镝、铽金属靶材产品贸易提供仲裁依据,同时还对发展具有我国自主知识产权的钕铁硼防护技术具有重要意义,能够进一步提高企业技术含量,促进产品提档升级,提高国际市场竞争力。
目前,国内靶材厂商主要聚焦在低端产品领域,在半导体、平板显示器和太阳能电池等市场还无法与国际巨头全面竞争,但依靠国内的巨大市场潜力和利好的产业政策,以及产品价格优势,它们已经在国内市场占有一定的市场份额,并逐步在个别细分领域抢占了部分国际大厂的市场空间。受益下游需求逐步向国内转移,我国的靶材龙头企业正在乘势而上,在各自的细分领域进行技术突破和产能提升。2021年11月10日,阿石创公司举行“超高清显示用铜靶材产业化建设项目”的开工仪式。工程总投资2.45亿元,配套建设高端铜靶材生产厂房以及行政办公楼各一栋。项目的建设开工标志着福建阿石创在超高清显示用铜靶材产业化发展道路上实现重大跨越,进一步提高公司铜靶材产品的规模化生产能力。
和仕咨询发布的《2022-2026年中国靶材行业深度调研及投资前景预测报告》共十章。首先介绍了靶材的基本概念及行业发展环境,接着对靶材行业及ITO靶材的发展状况进行了深入分析,然后对靶材下游应用领域进行了细致解析,随后报告具体分析了国内外重点企业的经营状况及典型项目案例。最后,报告对中国靶材行业的投资潜力及未来发展前景进行了科学的预测。